序号

原条款参数要求

修改后参数要求

1

※1.2 力学性质测量模式：

横向力 /摩擦力显微镜；

动态和静态力曲线测试；

纳米压痕 /纳米力学映射模式；

磁场力显微技术；静电力显微技术；

高次谐波成像模式；分子力力谱模式；

纳米刻蚀与纳米操纵；

※1.2 力学性质测量模式：

横向力 /摩擦力显微镜；

动态和静态力曲线测试；

纳米压痕 /纳米力学映射模式；

磁场力显微技术；

静电力显微技术；

分子力力谱模式；

纳米刻蚀与纳米操纵；

2

▲2.高级成像模式：系统应具备高次谐波成像或双频共振追踪等高级多频激励模式， 用于增强材料纳米力学或压电性能的表征能力。

▲2.高级成像模式：系统应具备高级多频激励模式，用于增强材料纳米力学或压电性能的表征能力(提供高级多频激励模式的证明材料)。

3

▲3.样品台与稳定性：样品台可容纳直径≥35mm，高度≥10mm 的样品，并配备马达驱动的大范围位移台（行程≥10mm）。系统热漂移速率应低于 0.03 nm/sec。2 μm 的扫描范围内，能够以不低于 10Hz 的扫描频率获得清晰、无失真的图像。

3.样品台与稳定性：样品台可容纳直径≥35mm，高度≥10mm 的样品，并配备大范围位移台（行程≥5mm）。

4

▲4.扫描器范围: 采用闭环控制扫描器，XY 扫描范围≥100 μm，Z 轴范围≥15 μm。

▲4.扫描器范围: 采用闭环控制扫描器，XY 扫描范围≥100 μm，Z 轴范围≥12 μm。

5

▲5.扫描器噪音与精度：Z 轴闭环传感器噪音低于 0.03 nm (RMS)，X、Y 轴闭环传感 器噪音低于 0.05 nm (RMS)。需具备优异的线性度，以保障成像的几何保真度。扫描器质保期不低于 5 年。

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6

▲6.大范围扫描稳定性：扫描器须具备“Z 轴限位”或类似功能，实现对超出测量范围的深坑或是边缘位置的稳定成像。Auto Z Range: 通过预扫描获得的样品粗糙度，来自动设定 Z 轴动作范围， 自动实现小粗糙度样品的精细测量或大粗糙度样品的稳定测量。

6.系统支持实现对超出测量范围的深坑或边缘位置的稳定成像；支持通过预扫描获得的样品粗糙度，来设定 Z 轴动作范围，实现小粗糙度样品的精细测量或大粗糙度样品的稳定测量。

7

▲8.激光光源：采用低噪音、低相干性 SLD 激光器，波长 830nm，功率≥600µW 及配套 适配器； (提供证明材料）

▲8.激光光源：采用低噪音、低相干性激光器，波长 ≥650nm，功率≥600µW； (提供证明材料）

8

9.检测系统：直流激光探测器本底噪音低于0.04 nm (Adev, 0.1Hz-1kHz 带宽)，确保对微小悬臂偏转的高灵敏度探测。

9.检测系统：直流激光探测器本底噪音低于0.04nm，确保对微小悬臂偏转的高灵敏度探测。

9

10.扫描隧道显微镜功能：能够通过扫描隧道电流的检测和反馈得到高分辨的原子或分 子像。隧道电流增益≥1x10 ⁹   V/A，电流检测范围至少覆盖 1 pA-10 nA。

▲10.扫描隧道显微镜功能：能够通过扫描隧道电流的检测和反馈得到高分辨的原子或分子像。隧道电流增益≥1x10 ⁹ V/A，电流检测范围至少覆盖 1 pA-10 nA。

10

▲11.光学观察系统：连续可变倍率光学显微镜，视野范围 1.8 mm×1.38 mm-0.26 mm× 0.2 mm；光学系统：CMOS 像素点≥300 万，光学分辨率≤2 μm。视野亮度由软件控制。光学系统噪音<5 pm(Adev,1 Hz 到 1 KHz 测试带宽)。

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11

12.系统自检功能：扫描器性能自检，通讯自检，电源自检，信号发生自检；系统高度噪音<15pm（Adev,1Hz 到 1KHz 带宽）。

12.系统自检功能：扫描器性能自检，通讯自检，电源自检，信号发生自检；系统高度噪音<15pm。

12

▲13. 最 高 像 素 采 集 ： ≥**** 点 ； 系 统 光 学 分 辨 率 小 于 1 μm ， 视 场 范 围： 690 μm×920 μm。

▲13. 最 高 像 素 采 集 ： ≥**** 点 ； 系 统 光 学 分 辨 率 小 于 2 μm 。

13

▲14.预装 Pre-Mount 探针支架：通过磁力吸附结构使用预装探针。

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14

15.智能探针识别与校准：系统能自动识别探针类型，并一键完成悬臂弹性常数和光学灵敏度的校准。全自动激光对准系统：软件控制，自动完成激光点-探针位置调节和光电二极管检测器自动归零及信号优化。

15.智能探针识别与校准：系统能自动识别探针，并一键完成悬臂弹性常数和光学灵敏度的校准。可通过软件控制激光点-探针位置调节、光电二极管检测器自动归零及信号优化。

17.控制器：至少三个全数字双频锁相放大器。其中2个为工作在20 MHz的双频率数字积分锁相放大器；1个为工作在5 MHz的双频率数字积分锁相放大器。两个输出频率在40 MHz的双频率频率合成器，频率范围从直流到最大15 MHz（9 mHz步长）。一个输出频率在10 MHz的双频率频率合成器，频率范围从直流到最大2 MHz（2 mHz步长）。数字调Q范围：2 KHz-20 MHz。内置锁相放大器，单通道图像采集像素不低于4096×4096。 点击查看

17.控制器：至少三个全数字锁相放大器，数字调Q范围不小于：2KHz-5MHz。

15

▲18.电流特性测量附件：扫描扩散电阻显微镜 SSRM，电流测量范围至少覆盖 10pA-0.1 mA。

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16

▲19.机械性能测量附件 :粘弹性原子力显微镜 VE-AFM ，切向调制原子力显微镜 LM-FFM，粘着力显微镜 Adhesion。

▲19.机械性能测量附件:粘弹性原子力显微镜，切向调制原子力显微镜，粘着力显微镜。

17

▲20.样品环境控制：配备加热样品台，加热温度范围室温至 250℃, 控温精度优于 ± 1℃，具备防热漂移设计。具备液相测量功能，包括液相 DFM 探针支架及液相池。

20. 样品环境控制：配备加热样品台，加热温度范围室温至 250℃, 控温精度优于± 1℃，具备防热漂移设计。具备液相测量功能，包括液相探针支架及液相池。

18

※21.操作软件: 软件需支持多区域自动序列测量、自适应扫描等智能功能。并具备智 能探针参数校准功能。操作导航、RealTune II 自动判定测量参数、Recipe 菜单化测量功能、实时放大，移动测量位置。

※21.操作软件: 软件需支持多区域自动序列测量、自适应扫描等智能功能。并具备智 能探针参数校准功能。操作导航、自动判定测量参数、菜单化测量功能、实时放大，移动测量位置。

19

※22.分析软件:软件内置无需二次编程的高级分析工具包，例如纳米力学定量分析、 电学特性分析、三维图像显示、线粗糙度分析、剖面分析、Tilt/Flat/Edit/Clip/Mask/Local Filter/FFT Filter 图形处理功能、离线分析软件；软件架构应开放，支持用户脚本编程 或提供API接口，便于自定义测量流程和二次开发。软件支持自动进针进行智能扫描功能； 扫描过程中能实时输出样品的三维图，操作软件须为开源免费的，可进行二次开发。 数据处理器：需科研与教学过程中对高效运算、数据分析和建模仿真的需求，具备稳定的多任务处理能力，能够流畅运行各类专业软件及办公系统。其图形处理性能优良，可支持三维设计、图像渲染及多媒体展示。存储与数据管理能力突出，能够保障大规模科研数据及教学资源的安全、高效使用，整体性能完全符合科研与教学工作要求。

22.分析软件:软件内置无需二次编程的高级分析工具包，例如纳米力学定量分析、 电学特性分析、三维图像显示、线粗糙度分析、剖面分析、Tilt/Flat/Edit/Clip/Mask/Local Filter/FFT Filter 图形处理功能、离线分析软件；软件架构应开放，支持用户脚本编程 或提供API接口，便于自定义测量流程和二次开发。软件支持自动进针进行智能扫描功能；扫描过程中能实时输出样品的三维图，分析软件须为开源免费的，可进行二次开发。 数据处理器：需科研与教学过程中对高效运算、数据分析和建模仿真的需求，具备稳定的多任务处理能力，能够流畅运行各类专业软件及办公系统。其图形处理性能优良，可支持三维设计、图像渲染及多媒体展示。存储与数据管理能力突出，能够保障大规模科研数据及教学资源的安全、高效使用，整体性能完全符合科研与教学工作要求。

序号

原条款参数要求

修改后参数要求

1

6.高速控制器 2 套

6.高速控制器 1 套

2

10.操作软件 2 套

10.操作软件 1 套

序号

原条款参数要求

修改后参数要求

1

1.起评分：

有效投标人的起评分为 50 分。

2.扣分条款：

2.1 投标文件投标应答有一条不满足招标文件重要技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中带“▲”号标注的部分，共12 条），从起评分中扣除 3 分，扣完为止。

2.2 投标文件投标应答有一条不满足招标文件一般性技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中“▲”和“※”号标注的部分除外，共 7 条），从起评分中扣除 2 分，扣完为止。

1.起评分：

有效投标人的起评分为 50 分。

2.扣分条款：

2.1 投标文件投标应答有一条不满足招标文件重要技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中带“▲”号标注的部分，共 6 条），从起评分中扣除 5 分，扣完为止。

2.2 投标文件投标应答有一条不满足招标文件一般性技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中“▲”和“※”号标注的部分除外，共 10 条），从起评分中扣除 2 分，扣完为止。